급속 열처리(RTP)는 적외선 램프 가열 기술과 캐비티 콜드 월 기술을 사용하여 급속 가열 및 냉각을 달성하여 특정 열처리 공정을 달성하는 것입니다. 주요 응용 분야는 집적 회로 분야(실리콘으로 대표되는 1세대 반도체)와 광전자 분야(갈륨 비소로 대표되는 2세대 반도체)로 대표되는 반도체 분야입니다. 반도체 공정에서 열처리/어닐링은 필수적인 공정입니다. 반도체 소자는 기능화를 달성하도록 설계되었기 때문입니다. 즉, 금속 전극의 도움이 필요한 전기 신호의 입력/출력을 의미합니다. 양호한 접촉을 얻으려면 어닐링/확산 공정을 통해 최적화해야 합니다. 물론 금속 합금화는 고속 어닐링로의 가장 중요한 기능 중 하나일 뿐이며 다른 관련 분야에는 다른 응용 분야가 있습니다.
첫째, 제조업체
속담처럼, 당신은 강해야 합니다! 좋은 제품은 좋은 기업과 분리될 수 없습니다! 기업은 특허와 기술 침전을 거쳐야 하며, 시장과 사용자의 사고방식에서 벗어나지 않아야 사용자 기대에 부응하는 제품을 만들 수 있습니다. 따라서 빠른 어닐링로를 선택할 때는 먼저 제조업체의 강인한 강도를 고려해야 합니다!